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新施诺:结构12英寸晶圆厂物流“神经收集” 打


  晶圆制制厂内,运转着复杂的从动化物料搬运系统(AMHS),以满脚高干净度、高不变性、高效率传送、高复杂度、低振动以及全从动化系统对接的需求。姑苏新施诺半导体设备无限公司由机械人(300024)取和中芯聚源、诺华本钱等财产投资人结合成立,做为AMHS设备和软件全体处理方案供给商,公司正在本届湾芯展上展现了自从研发的AMHS天车系统,并获得了2025“湾芯”之杰出企业。新施诺发卖副总司理屠杰引见,晶圆厂对AMHS的需求大幅上升,对物流系统的效率、精度和不变性要求达到史无前例的高度。出格是12英寸晶圆厂已成为行业支流,其出产规模大、工艺复杂、对良率性高,对AMHS天车系统提出了极致要求。据引见,半导体工场通过MES(制制施行系统)毗连AMHS软件,实现了半导体Fab厂车间内的晶圆搬运,最终实现了工场“无人化出产”。正在出产分歧尺寸晶圆厂中,需要天车、AGV来搭配组合利用或分隔利用。具体来看,正在6英寸或8英寸晶圆厂中,物料搬运量不大,同时产物出产流程受工艺设备的,考虑到前期成本投入,AGV产物则拥有必然的市场比例;比拟,12英寸晶圆厂客户更看沉“高效率、高不变以及高干净”的特点,因而物流系统以天车为从。数据显示,正在12英寸晶圆制制过程中,单片晶圆需正在数百台设备间流转,履历上千道工序,单次出产周期中晶圆传输里程超20公里;整厂OHT(天车系统)轨道总长超50公里,每日需完成50万次以上运输使命,其复杂性堪比都会交通系统。OHT系统已从辅帮东西升级为晶圆厂的“神经收集”。另一方面,晶圆制制厂的物流系统是一项投资复杂、手艺繁杂、周期漫长的系统性项目,面对着手艺取办理规划的严峻,特别是AMHS系统不变性要求高,虽然天车是由工业级零部件拆卸成的零件系统,目前AMHS国产化仍面对手艺壁垒高、整厂摆设验证难、复合型人才稀缺及焦点零部件供应链危机等多沉挑和。面临挑和,新施诺正在手艺立异方面已实现OHT轻量化设想迭代,并正在节制器架构、手艺线及操做系统选择上构成了奇特劣势,努力于打制愈加不变、高效、可控的国产天车系统;正在生态扶植上,新施诺合做的,深化取集成商的协同合做,推进计谋合做取财产平安结构,实现资本共享、风险共担、配合验证,截至目前,新施诺已正在国内多个12英寸及8英寸晶圆厂完成AMHS系统的交付取摆设,公司供给高机能硬件设备,以及自从研发的软件系统,实现对物流使命的智能安排、及时取高效办理,全面保障系统不变运转,赋能晶圆厂实现物流系统的智能化升级。





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